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半導体製造プロセス「PSU」の目的 |
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このPSUは「CMOSプロセス簡易版」を使い、「半導体の製造工程」テキストの画像などを活用して、半導体プロセスの入門学習用に作成したものです。
テキストと併用することで理解度の向上が可能になります。 |
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2. |
PSUの特長 |
- PSは「プロセスシミュレーター」の略称で弊社半導体用電子教材の呼称です。
- 「プロセスシミュレーターU」は半導体製造 ・前工程(ウェハー処理)の概念をCMOSプロセス簡易版を使い、100スライドで学習します。
- CMOS簡易版のプロセスフローは、11の形成工程、69のプロセス、147の処理ステップがあります。ウェハーがプロセスバー上のプロセスNo.を順次移動し、処理済のトランジスタ断面図を表示します。
- PA(パーキングエリア)は完了工程のトランジスタ断面図と回路素子、顕微鏡イメージの回路パターンを学習します。
- 形成工程の開始は、自家用車が完了工程の回路パターンを積んで現れ、開始工程の処理内容が表示されます。
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3. |
プロセス解説の内容 |
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各スライドは処理ステップと関連する下記内容を画像、ナレーションで解説します。 |
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- 概要 処理プロセスの概念
- 原理 装置、プロセスの原理
- プロセス 処理ステップ
- 装置 装置の機能
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4. |
動作環境 |
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Flashムービーの中でナレーションを使いますので,コンピュータには音声の再生機能が必要です。職場で音声を再生できないときは,ヘッドフォンをお使いください。
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デモの開始 |
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こちらからデモがご覧いただけます。
目次にある100スライド中、青色表示で下線のある10スライドです。
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知的財産権 |
- 所有権
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免責事項 |
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