| 装置材料(Equip Mate) |
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| ■結晶成長及びウエハ製造工程(189) | ■酸化・拡散・イオン注入装置(74) | ■レジスト関連装置(97) |
| ■露光・描画装置(68) | ■薄膜形成装置(124) | ■エッチング装置(176) |
| ■その他ウエハプロセス関連装置(299) | ■マスク製造、設計工程(164) | ■ウエハ・マスク製造検査装置(159) |
| ■組立工程(186) | ■検査工程(テスティング装置)(73) | ■その他検査、測定装置(166) |
| ■ウエハハンドリング関連、搬送装置及び関連装置・部品(81) | ■ガス関連(86) | ■クリーンルーム関連(79) |
| ■部品・材料・アクセサリ(352) | ■MEMS(マイクロシステム)関連(45) | ■ソフトウェア関連(57) |
| ■出版・サービス・その他(62) |